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废气处理设备的分类
吸收法采用低挥发或不挥发性溶剂对VOCs进行吸收，再利用VOCs和吸收剂物理性质的差异进行分离。
含VOCs的气体自吸收塔底部进入塔内，在上升过程中与来自塔顶的吸收剂逆流接触，净化后的气体由塔顶排出。吸收了VOCs的吸收剂通过热交换器后，进入汽提塔顶部，在温度高于吸收温度或压力低于吸收压力的条件下解吸。解吸后的吸收剂经过溶剂冷凝器冷凝后回到吸收塔。解吸出的VOCs气体经过冷凝器、气液分离器后以较纯的VOCs气体离开汽提塔，被回收利用。该工艺适合于VOCs浓度较高、温度较低的气体净化，其他情况下需要作相应的工艺调整。 在用多孔性固体物质处理流体混合物时，流体中的某一组分或某些组分可被吸表面并浓集其上，此现象称为吸附。吸附处理废气时，吸附的对象是气态污染物，气固吸附。被吸附的气体组分称为吸附质，多孔固体物质称为吸附剂。
固体表面吸附了吸附质后，一部被吸附的吸附质可从吸附剂表面脱离，此现附。而当吸附进行一段时间后，由于表面吸附质的浓集，使其吸附能力明显下降而吸附净化的要求，此时需要采用一定的措施使吸附剂上已吸附的吸附质脱附，以协的吸附能力，这个过程称为吸附剂的再生。因此在实际吸附工程中，正是利用吸附一再生一再吸附的循环过程，达到除去废气中污染物质并回收废气中有用组分。 等离子体就是处于电离状态的气体，其英文名称是plasma，它是由美国科学 muir，于1927年在研究低气压下汞蒸气中放电现象时命名的。等离子体由大量的子、中性原子、激发态原子、光子和自由基等组成，但电子和正离子的电荷数必须体表现出电中性，这就是“等离子体”的含义。等离子体具有导电和受电磁影响的许多方面与固体、液体和气体不同，因此又有人把它称为物质的第四种状态。根据状态、温度和离子密度，等离子体通常可以分为高温等离子体和低温等离子体（包子体和冷等离子体）。其中高温等离子体的电离度接近1，各种粒子温度几乎相同系处于热力学平衡状态，它主要应用在受控热核反应研究方面。而低温等离子体则学非平衡状态，各种粒子温度并不相同。其中电子温度( Te)≥离子温度(Ti)，可达104K以上，而其离子和中性粒子的温度却可低到300～500K。一般气体放电子体属于低温等离子体。
截至2013年，对低温等离子体的作用机理研究认为是粒子非弹性碰撞的结果。低温等离富含电子、离子、自由基和激发态分子，其中高能电子与气体分子（原子）发生撞，将能量转换成基态分子（原子）的内能，发生激发、离解和电离等一系列过秸处于活化状态。一方面打开了气体分子键，生成一些单分子和固体微粒；另一力生．OH、H2O2．等自由基和氧化性极强的O3，在这一过程中高能电子起决定性作用，离子的热运动只有副作用。常压下，气体放电产生的高度非平衡等离子体中电子温层氏度）远高于气体温度（室温100℃左右）。在非平衡等离子体中可能发生各种类型的化学反应，主要决定于电子的平均能量、电子密度、气体温度、有害气体分子浓度和≥气体成分。这为一些需要很大活化能的反应如大气中难降解污染物的去除提供了另外也可以对低浓度、高流速、大风量的含挥发性有机污染物和含硫类污染物等进行处理。
常见的产生等离子体的方法是气体放电，所谓气体放电是指通过某种机制使一电子从气体原子或分子中电离出来，形成的气体媒质称为电离气体，如果电离气由外电场产生并形成传导电流，这种现象称为气体放电。根据放电产生的机理、气体的压j源性质以及电极的几何形状、气体放电等离子体主要分为以下几种形式：①辉光放电；③介质阻挡放电；④射频放电；⑤微波放电。无论哪一种形式产生的等离子体，都需要高压放电。容易打火产生危险。由于对诸如气态污染物的治理，一般要求在常压下进行。
5、光催化和生物净化设备
光催化是常温深度反应技术。光催化氧化可在室温下将水、空气和土壤中有机污染物完全氧化成无毒无害的产物，而传统的高温焚烧技术则需要在极高的温度下才可将污染物摧毁，即使用常规的催化、氧化方法亦需要几百度的高温。
从理论上讲，只要半导体吸收的光能不小于其带隙能，就足以激发产生电子和空穴，该半导体就有可能用作光催化剂。常见的单一化合物光催化剂多为金属氧化物或硫化物，如 Ti0。、Zn0、ZnS、CdS及PbS等。这些催化剂各自对特定反应有突出优点，具体研究中可根据需要选用，如CdS半导体带隙能较小，跟太阳光谱中的近紫外光段有较好的匹配性能，可以很好地利用自然光能，但它容易发生光腐蚀，使用寿命有限。相对而言，Ti02的综合性能较好，是最广泛使用和研究的单一化合物光催化剂。
VOCS废气处理设备治理有哪些技术
1.蓄热式焚烧技术
蓄热式焚烧炉（简称RTO）是目前最成熟、最稳定、最有效的有机废气处理设备，可以处理工业生产过程中所排放出来的挥发性有机气体（VOC）和臭气。RTO系统利用高温氧化去除废气，通过控制温度，停留时间，湍流系数和氧气量将废气转化为二氧化碳和水气，并回收废气分解时所释放出的热量，从而达到环保节能的双重目的。
特点：在处理大流量低浓度的有机废气时，运行成本非常低；系统自适应强，操作稳定、安全性高；设备在厂内组装，系统安装时间短；可处理多种组分，几乎所有有机废气，含S、N、卤族元素的有机废气；适用于化工、石化、制药、涂装、印刷等及其他使用有机溶剂的过程。
2.吸附浓缩热氧化技术
吸附浓缩热氧化技术是治理大风量、低浓度VOC排放的最经济的技术途径。该技术将吸附浓缩单元和热氧化单元有机地结合起来，不仅可以满足排放要求，还可以降低净化设备的投资、运行费用。
特点：净化效率高，出口浓度稳定，吸附净化率可达97%，氧化净化率99%以上；沸石转轮吸附降低了火灾风险。它的缺点是设备的体积较大，工艺流程比较复杂，如果废气中有大量废气，则容易导致工作人员中毒，所以需要多使用活性炭。它适用于喷漆车间、各种印刷车间、半导体集成电路、液晶显示屏（LCD）等制造过程的排气处理。
3.吸附回收净化技术
此技术主要是利用吸附材料将废气中的有机溶剂吸附下来，并脱附回收利用有机溶剂的方法，是一种简单实用的VOCs治理技术。不仅能有效治理有机废气，还能回收有机溶剂，是企业常用的净化技术。
特点：对于非水溶性有机溶剂，采用活性炭吸附-水蒸汽脱附-溶剂回收工艺，具有相变热高，脱附完全，易冷凝的优点，可实现有机溶剂和水的自动有效分离；附床内配套活性炭保护系统，充分保证设施安全；适用于化工、石油、制药工业、涂装等行业。
4.微生物净化技术
微生物净化技术具有设备投资费少、运行费用低、操作简便等优点，适合处理水溶性差、不易生物降解的有机废气以及硫化氢、氨气等恶臭废气的治理。
特点：操作条件温和，常温常压；清洁型治理工艺，无二次污染；填料孔隙率大于80%，单位压降小，可选低功率风机，降低能耗和噪音；适用于垃圾处理过程、污水处理厂、以及容易产生恶臭气体和废气的领域。
5.热破坏法
热破坏法是指直接和辅助燃烧有机气体，或利用合适的催化剂加快VOC的化学反应，最终达到降低有机物浓度，使其不再具有危害性的一种处理方法。该方法对于浓度较低的有机废气处理效果比较好，因此，在处理低浓度废气中得到了广泛应用。方法有两种：直接火焰燃烧法和催化燃烧。
6.变压吸附分离与净化技术
变压吸附分离与净化技术是利用气体组分可吸附在固体材料上的特性，在有机废气与分离净化装置中，气体的压力会出现一定的变化，通过这种压力变化来处理有机废气，使用材料主要是沸石分子筛。沸石分子筛可以吸附有机废气中的有机成分，然后把剩余气体输送到下个环节中。
特点：能源消耗少、成本比较低、工序操作自动化及分离净化后混合物纯度比较高、污染小。
VOCs废气处理设备如何处理废气的？
一、VOCs废气处理技术——热破坏法热破坏法是指直接和辅助燃烧有机气体，也就是VOC，或利用合适的催化剂加快VOC的化学反应，最终达到降低有机物浓度，使其不再具有危害性的一种处理方法。热破坏法对于浓度较低的有机废气处理效果比较好，因此，在处理低浓度废气中得到了广泛应用。这种方法主要分为两种，即直接火焰燃烧和催化燃烧。直接火焰燃烧对有机废气的热处理效率相对较高，一般情况下可达到 99%。而催化燃烧指的是在催化床层的作用下，加快有机废气的化学反应速度。这种方法比直接燃烧用时更少，是高浓度、小流量有机废气净化的首选技术。
二、VOCs废气处理技术——吸附法有机废气中的吸附法主要适用于低浓度、高通量有机废气。现阶段，这种有机废气的处理方法已经相当成熟，能量消耗比较小，但是处理效率却非常高，而且可以彻底净化有害有机废气。实践证明，这种处理方法值得推广应用。但是这种方法也存在一定缺陷，它需要的设备体积比较庞大，而且工艺流程比较复杂;如果废气中有大量杂质，则容易导致工作人员中毒。所以，使用此方法处理废气的关键在于吸附剂。当前，采用吸附法处理有机废气，多使用活性炭，主要是因为活性炭细孔结构比较好，吸附性比较强。此外，经过氧化铁或臭氧处理，活性炭的吸附性能将会更好，有机废气的处理将会更加安全和有效。
三、VOCs废气处理技术——生物处理法从处理的基本原理上讲，采用生物处理方法处理有机废气，是使用微生物的生理过程把有机废气中的有害物质转化为简单的无机物，比如CO2、H2O和其它简单无机物等。这是一种无害的有机废气处理方式。一般情况下，一个完整的生物处理有机废气过程包括3个基本步骤：a) 有机废气中的有机污染物首先与水接触，在水中可以迅速溶解;b) 在液膜中溶解的有机物，在液态浓度低的情况下，可以逐步扩散到生物膜中，进而被附着在生物膜上的微生物吸收;c) 被微生物吸收的有机废气，在其自身生理代谢过程中，将会被降解，最终转化为对环境没有损害的化合物质。
四、VOCs废气处理技术——变压吸附分离与净化技术变压吸附分离与净化技术是利用气体组分可吸附在固体材料上的特性，在有机废气与分离净化装置中，气体的压力会出现一定的变化，通过这种压力变化来处理有机废气。PSA 技术主要应用的是物理法，通过物理法来实现有机废气的净化，使用材料主要是沸石分子筛。沸石分子筛，在吸附选择性和吸附量两方面有一定优势。在一定温度和压力下，这种沸石分子筛可以吸附有机废气中的有机成分，然后把剩余气体输送到下个环节中。在吸附有机废气后，通过一定工序将其转化，保持并提高吸附剂的再生能力，进而可让吸附剂再次投入使用，然后重复上步骤工序，循环反复，直到有机废气得到净化。近年来，该技术开始在工业生产中应用，对于气体分离有良好效果。该技术的主要优势有：能源消耗少、成本比较低、工序操作自动化及分离净化后混合物纯度比较高、环境污染小等。使用该技术对于回收和处理有一定价值的气体效果良好，市场发展前景广阔，成为未来有机废气处理技术的发展方向。
五、VOCs废气处理技术——氧化法对于有毒、有害，而且不需要回收的VOC，热氧化法是最适合的处理技术和方法。氧化法的基本原理：VOC与O2发生氧化反应，生成CO2和H2O，化学方程式如下：从化学反应方程式上看，该氧化反应和化学上的燃烧过程相类似，但其由于VOC浓度比较低，在化学反应中不会产生肉眼可见的火焰。一般情况下，氧化法通过两种方法可确保氧化反应的顺利进行：a) 加热。使含有VOC的有机废气达到反应温度;b) 使用催化剂。如果温度比较低，则氧化反应可在催化剂表面进行。所以，有机废气处理的氧化法分为以下两种方法：a) 催化氧化法。现阶段，催化氧化法使用的催化剂有两种，即贵金属催化剂和非贵金属催化剂。贵金属催化剂主要包括Pt、Pd等，它们以细颗粒形式依附在催化剂载体上，而催化剂载体通常是金属或陶瓷蜂窝，或散装填料;非贵金属催化剂主要是由过渡元素金属氧化物，比如MnO2，与粘合剂经过一定比例混合，然后制成的催化剂。为有效防止催化剂中毒后丧失催化活性，在处理前必须彻底清除可使催化剂中毒的物质，比如Pb、Zn和Hg等。如果有机废气中的催化剂毒物、遮盖质无法清除，则不可使用这种催化氧化法处理VOC。b) 热氧化法。热氧化法当前分为三种：热力燃烧式、间壁式、蓄热式。三种方法的主要区别在于热量回收方式。这三种方法均能催化法结合，降低化学反应的反应温度。热力燃烧式热氧化器，一般情况下是指气体焚烧炉。这种气体焚烧炉由助燃剂、混合区和燃烧室三部分组成。其中，助燃剂，比如天然气、石油等，是辅助燃料，在燃烧过程中，焚烧炉内产生的热混合区可对VOC废气预热，预热后便可为有机废气的处理提供足够空间、时间，最终实现有机废气的无害化处理。在供氧充足条件下，氧化反应的反应程度——VOC去除率——主要取决于“三T条件”：反应温度(Temperat)、时间(Time)、湍流混合情况(Turbulence)。这“三T条件”是相互联系的，在一定范围内，一个条件的改善可使另外两个条件降低。热力燃烧式热氧化器的缺点在于：辅助燃料价格高，导致装置操作费用比较高。间壁式热氧化器指的是在热氧化装置中，加入间壁式热交换器，进而把燃烧室排出气体的热量传送给氧化装置进口处温度比较低的气体，预热完成后便可促成氧化反应。现阶段，间壁式热交换器的热回收率最高可达85%，因此大幅降低了辅助燃料的消耗。一般情况下，间壁式热交换器有三种形式：管式、壳式和板式。由于热氧化温度必须控制在800 ℃～1 000 ℃范围内，因此，间壁式热交换必须由不锈钢或合金材料制成。所以间壁式热交换器的造价相当高，而这也是其缺点所在。此外，材料的热应力也很难消除，这是间壁式热交换的另外一个缺点。蓄热式热氧化器，简称为RTO，在热氧化装置中计入蓄热式热交换器，在完成VOC预热后便可进行氧化反应。现阶段，蓄热式热氧化器的热回收率已经达到了95%，且其占用空间比较小，辅助燃料的消耗也比较少。由于当前的蓄热材料可使用陶瓷填料，其可处理腐蚀性或含有颗粒物的VOC气体。现阶段，RTO装置分为旋转式和阀门切换式两种，其中，阀门切换式是最常见的一种，由2个或多个陶瓷填充床组成，通过切换阀门来达到改变气流方向的目的。
六、VOCs废气处理技术——液体吸收法液体吸收法指的是通过吸收剂与有机废气接触，把有机废气中的有害分子转移到吸收剂中，从而实现分离有机废气的目的。这种处理方法是一种典型的物理化学作用过程。有机废气转移到吸收剂中后，采用解析方法把吸收剂中有害分子去除掉，然后回收，实现吸收剂的重复使用和利用。从作用原理的角度划分，此方法可分为化学方法和物理方法。物理方法是指利用物质之间相溶的原理，把水看作吸收剂，把有机废气中的有害分子去除掉，但是对于不溶于水的废气，比如苯，则只能通过化学方法清除，也就是通过有机废气与溶剂发生化学反应，然后予以去除。
七、VOCs废气处理技术——冷凝回收法在不同温度下，有机物质的饱和度不同，冷凝回收法便是利用有机物这一特点来发挥作用，通过降低或提高系统压力，把处于蒸汽环境中的有机物质通过冷凝方式提取出来。冷凝提取后，有机废气便可得到比较高的净化。其缺点是操作难度比较大，在常温下也不容易用冷却水来完成，需要给冷凝水降温，所以需要较多费用。这种处理方法主要适用于浓度高且温度比较低的有机废气处理。
至纯科技有投资的价值吗？
至纯科技成立于2000年，为高端先进制造企业特别是半导体制造企业提供高纯工艺系统解决方案。2017年，我们将利用现有的技术优势，专注于半导体制造业清洁设备的开发，正式进入半导体设备行业。2018年收购博汇科技100%股权，进入光传感器领域。2019年，公司完成对100%珐成制药的收购，进入生物制药领域。
公司是中国高纯工艺系统的龙头企业，主要负责气体、液体、化工、废弃物处理高纯系统的设计与建设，半导体制造、LED、光伏、制药等下游客户。2019年，公司高纯工艺系统收入6.37亿元，同比下降-5.51%，占总收入的65%。业务规模下降的主要原因是公司在湿法工艺部门的研发上投入了大量的资源。近两年高纯流程系统业务的策略是适当降低收入增长率，提高收入质量，增加国内相关系统的研发空白。2019年，公司高纯工艺系统新业务订单约8.8亿元。
随着半导体行业的发展，公司实现了从LED/光伏/医药到半导体的完美转型。正是由于晶圆厂的快速建设和高纯系统在晶圆厂中的重要作用，纯技术充分利用其在高纯系统领域积累的技术和经验，大力拓展半导体业务，实现从LED/光伏/医药的主营业务转型从工业到半导体工业。2015年开始研发湿法工艺设备，2016年成立院士工作站，2017年成立独立半导体湿法事业部。中芯国际等在2018年获得订单的用户的首批设备基本完成交付，中芯国际已投入使用6台设备。到2019年底，公司已接到近40个正式订单，完成了包括湿腐蚀、清洗、金属剥离、晶圆回收等工艺在内的近20个设备安装。2019年，湿法设备新增业务订单约1.7亿元。近年来，非洲大陆每年的湿式清洗设备空间约为15亿美元。随着下游需求和公司产能的爆发，公司清洗设备出货量预计在未来几年将实现快速上涨。
公司围绕半导体核心技术，在上市三年内完成“半导体+生物制药+光电子”三大板块的战略部署。公司现有五个事业部，其中高纯工艺系统(BU1)、湿法工艺设备及晶圆再生服务(BU2)、电子材料及元器件(BU3)均服务于半导体行业。产品和服务完全符合“新厂房建设-产能攀升-生产运营-技术升级”的不同生命周期。目前，公司高纯度工艺系统已进入中芯国际、华红、施兰威、长江仓储、昌鑫仓储、海力士、三星、台积电等一线客户。在湿式清洗设备方面，公司制定了槽式和单片两大技术路线。2019年新增客户包括华虹集团、华为、中车、台湾力晶、瀚天等。
轻烃回收工艺的流程
1．选择依据
根据油气田中C2含量及自身可利用的压力降大小等多方面因素来选择合适的制冷工艺。
根据原料气预冷温度要求的脱水深度及天然气组成等来选择合适的天然气脱水工艺。
2．制冷工艺的选择
冷剂制冷工艺 冷剂制冷是利用某些物质（制冷工质）在低温下冷凝分离（如融化、汽
化、升华）时的吸热效应产生的冷量。在NGL(Natural Gas Liquids天然气凝液)回收中常
用乙烷、丙烷、氨、氟里昂等由液体汽化吸热冷。这就需要耗功，用压缩机将气体压缩升
压，冷凝液化、蒸发吸热、产生冷量必须消耗热能。
冷剂制冷工艺流程比较复杂，投资较高，但稳定性比较好。
膨胀机制冷工艺 膨胀机制冷是非常接近于等熵膨胀的过程，气体经过膨胀降压之后温
度降低（可能有凝液产生）。这部分气体与原料气换冷或通过别的途径放出冷量。膨胀机
制冷可以回收一部分功，一般匹配同轴压缩机。
3．原料气脱水工艺的选择
对于天然气需预冷至-80~-100℃的深冷装置来说，一般均采用分子筛脱水工艺；而对于预
冷温度较高的浅冷装置来说，由于所要求的水露点较高，一般采用甘醇脱水工艺。